Construction of advanced abrasive machining systems

ISOLDE VI


Schleifmaschine ausgerüstet mit mit 4 Vertikalspindeln und 2 schwenkbaren Spindeln zum Schleifen von Flächen und Fasen der Siliziumblöcke vor dem Wafering

 

Leistungen

Auflösung 0,001 mm
Hochleistungsspindeln mit Direktantrieb
Stabiler Maschinenständer aus Stahl kombiniert mit Spannbeton
Automatische Messung und Steuerung
Automatische, halbautomatische oder manuelle Beladung

 

Anzahl Spindeln 
4 (Flächen)
2 (Fasen)
  
     
Anzahl Roboter
 2  
     
Schleifoperationen und Schleifzugabe
Vorschleifen bis 1 mm/Seite
Fertigschleifen bis 0,08 mm/Seite
Fase 45° x 1,5 mm
  
     
Schleifwerkzeug
Diamantschleifscheibe ø 400 mm
  
     
Schneidgeschwindigkeit
bis 100 m/s
  
     
Produktion   
bis 25 Blöcke/Stunde
  
     
Qualitätgarantie 
Ebenheit innerhalb von 0,05 mm
Parallelität innerhalb von 0,05 mm
Geradheit innerhalb von 0,25°
Dicke zwischen 155,5 und 156,5 ±0,03 mm
Oberflächengüte ≤ Ra 0,08  ≤ Rz 0,8
  

 


                          

        

                

     

Dokumente

Technische Daten


  • Anzahl Spindeln 4 (Flächen) + 2 (Fasen)
  • Spindel ø200 / 500 + AFS ø80 / 200 mm
  • Z-Achse 120 mm
  • Rotationsgeschwindigkeit 0 - 6000 U/min
  • Leistung 4x 29 + 2x 5 kW
  • Breite Max. 170 mm
  • Höhe Max. 160 mm
  • Schleifwerkzeuge CBN / Diamant / Al2O3
  • Schleifscheibe ø400 / ø250 mm
  • Vorschub 0 - 4000 mm/min
  • Steuerung Siemens S7/1500/TIA
  • Totalgewicht 10 t
  • Schleifzugabe Max. 1 mm
  • Auflösung 0,001 mm

Anwendungen